区二区在线观看-区二区综合色视频-区二三区-区久久久狼-区三区婷婷五月天-区午夜无码视频

咨詢熱線

13810961731

當前位置:首頁  >  產品展示  >    >  沉積系統  >  低真空化學氣相沉積設備

低真空化學氣相沉積設備

簡要描述:低真空化學氣相沉積設備是一種化學氣相沉積技術,利用熱能在基板表面上引發前驅氣體的反應。表面的反應是形成固化材料的原因。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-07-10
  • 訪  問  量:1093

詳細介紹

品牌其他品牌應用領域環保,化工,電子/電池

image.png

低真空化學氣相沉積設備(LPCVD)是一種化學氣相沉積技術,利用熱能在基板表面上引發前驅氣體的反應。表面的反應是形成固化材料的原因。低真空用於減少氣相反應,還可以提高整個基板的均勻性。除此之外,該過程取決於溫度控制,過程溫度越高,維持性越好。與大氣壓下的傳統CVD製程相比,LPCVD的優勢在於:每批製程可裝載更多的晶圓(每批100-200個晶圓)、晶圓內的厚度均勻性得到了改善(<±3%),並且降低生產成本。SYSKEY的系統可以精準的控制製程氣體與監控其數據(壓力、載臺溫度),並提供高品質的薄膜。

image.png


低真空化學氣相沉積設備參數

應用領域腔體
  • 碳納米管和石墨烯的製程。

  • SiOx、SiNx、a-Si、DLC和其他薄膜

    製程。

  • 熱退火。

  • 擴散製程。

  • 氧化製程。

  • 加熱爐配置:水平或垂直,結合

    傳送機構。



配置和優點選件
  • 客製化的基板尺寸,最大直徑可達8寸

    晶圓。

  • 單載片或多載片。

  • 優異的薄膜均勻度小於±5%。

  • 精準流量控制器,氣體分佈高度均勻,最多可容納10條氣體管線。

  • 穩定的溫度控制,可將載盤加熱至1700°C。

  • 可以與傳送腔(單載臺或多載臺)整

    合在一起。




產品咨詢

留言框

  • 產品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
主站蜘蛛池模板: 96久久精品久久久久久无毒 | 偷拍亚洲天堂 | 91在线无码精品秘 国产蓝莓 | 97看剧网| 午夜不卡在线观看 | 无套内射18毛片免费看看小说 | 亚洲AV无码一区二区白丝 | 国产厕所视频在线播放 | 国产有码一级精品 | 成网站大片 | 国产开嫩苞实拍在线播放视 | 91色精品免视看国产成人不卡 | 特黄三级又爽又粗又大 | 国产乱伦露脸视频 | 国产熟妇 码视频黑料 | 欧美国产主播在线 | 日本做爰《替夫还债》 | 日本天堂天v在线播放 | 日韩变态欧美国产一区 | 日韩伦理电影大全 | 国产一区二区日韩欧美在线 | 国产福利在线观看永久视频 | 国产精品免费入口视频 | 日韩欧美在线视频 | 精产国品色情一二三区在线观看 | 91免费看nba视频 | 99精品蜜臀蜜 | 国产高清又| 东方影库无码Av在线 | 色综合五月激情综合 | 91精品手机国产在线 | 尤物国产猎奇在线观看 | 极品少妇的粉嫩小泬p | 亚洲一区二区AV | 久久久一本精品99久久 | 91无码精品在线观看 | 成人a片专区 | 四虎精品国产永久在线观看 | 乱伦综合国产免费 | 中文字幕精品乱码中文字乱码 | 日韩亚洲 |