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原子層沉積設(shè)備

簡要描述:原子層沉積設(shè)備:真遠程等離子體源能夠在低溫<100°C下高均勻度和高保形性地覆蓋敏感襯底和膜層,在樣品表面提供高通量的反應(yīng)性氣體,而不受紫外線輻射或離子轟擊。

  • 產(chǎn)品型號:SENTECH
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-07-10
  • 訪  問  量:1277

詳細介紹

品牌其他品牌價格區(qū)間面議
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,電子/電池

SENTECH ALD原子層沉積設(shè)備的優(yōu)勢

用于敏感襯底的PEALD

真遠程等離子體源能夠在低溫<100°C下高均勻度和高保形性地覆蓋敏感襯底和膜層,在樣品表面提供高通量的反應(yīng)性氣體,而不受紫外線輻射或離子轟擊。

用于工藝研發(fā)和改善的實時監(jiān)測

ALD實時監(jiān)視儀RTM的原位診斷實現(xiàn)了單一ALD循環(huán)的超高分辨率。優(yōu)點是確認ALD范圍,減少處理時間和總生產(chǎn)成本。采用橢偏光譜、QCM和QMS進行原位診斷,也是我們的優(yōu)點。

簡易的腔體清洗

定期反應(yīng)腔體清洗對于穩(wěn)定和可重復(fù)的原子層沉積工藝是的。借助于用于清洗原子層沉積系統(tǒng)的升降裝置,可以容易地打開反應(yīng)腔體。

集成手套箱

SENTECH原子層沉積設(shè)備各種供應(yīng)商的手套箱兼容。

多腔集成

可作為SENTECH多腔系統(tǒng)的一個模塊。我們的可以與SENTECH PECVD和蝕刻設(shè)備結(jié)合用于工業(yè)應(yīng)用。可選的多腔系統(tǒng)也具備片盒到片盒裝片的特點。

SENTECH實現(xiàn)了熱ALD和等離子體增強ALD操作。ALD設(shè)備可以配置為用于氧化物、氮化物和金屬沉積。三維結(jié)構(gòu)具有出色的均勻性和保行性。利用ALD、PECVD和ICPECVD,SENTECH提供等離子體沉積技術(shù),用于從納米尺度沉積到數(shù)微米的薄膜沉積。

SENTECH ALD設(shè)備實現(xiàn)了熱ALD和等離子體增強ALD膜交替沉積多層結(jié)構(gòu)。熱ALD和等離子體增強ALD可在同一個反應(yīng)腔體中用快門來切換。

SENTECH提供了前沿的快速原位監(jiān)測技術(shù),實時監(jiān)測和廣泛范圍的光譜橢偏儀可逐層監(jiān)測薄膜生長。

 

Exraordinary homogeneity by PEALD of Al2O3 on 4'' wafersNotable homogeneity by thermal ALD of Al2O3 on 4'' wafers18 nm ALD Al2O3 (top) and 21 nm PEALD Al2O3 (bottom) showing very good conformality to 3D structuresPEALD Al2O3 on 8“ wafer with very good uniformityThermal ALD Al2O3 on 8“ wafer with uniformity of ± 1.2 %Atomic Layer DepositionClose up view of direct loadPlasma enhanced Atomic Layer Deposition with loadlockAtomic Layer Deposition System ALD LL with ALD Real Time Monitor

 

 

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